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纳米位移台在快速启停、短距离往复移动时容易出现台面抖动、位置过冲，导致对位不准、扫描图像拼接错位，不同品牌型号参数性能不同，驱动响应、阻尼特性存在差异，可按以下方式调整改善。
合理调节控制器运动缓冲参数，加大启动与停止缓冲时长，减缓压电陶瓷电压升降速度，避免电压突变带来的台面冲击，大幅减弱过冲幅度。
降低单步移动速度，高速运动工况下压电形变响应来不及匹配反馈信号，容易引发持续抖动，高精度扫描作业适配低速匀速进给模式。
检查台面负载分布，工件单边偏重会造成受力不均，运动时出现侧向晃动，尽量将被测物件放置台面中心位置，保证受力均衡。
开启控制器内置阻尼滤波功能，闭环系统自带滤波模块可过滤微小信号波动，抑制高频抖动，提升运动平稳度。
确认设备安装底座稳固，放置台面的支架出现轻微振动、形变也会传导至位移台，搭配刚性厚重底座，远离电机、泵体等振动源。