新闻

纳米位移台在高速扫描作业时，输出运动轨迹和预设轨迹出现明显偏差，线条发生扭曲、拐点位置偏移，采集得到的扫描图形出现失真，直接影响微纳定位、扫描采集的结果。不同品牌型号纳米位移台的压电陶瓷特性、机械铰链结构、控制器响应带宽参数性能不同，发生轨迹畸变的阈值与实际表现存在较大区别，调试手段不能直接照搬套用。
外部环境扰动是较为常见的诱发因素。环境振动会通过台面基座传递到位移台本体，高速运动状态下系统对微小外界干扰更加敏感，微弱的地面振动、周边设备运转带来的震动，都会叠加在运动输出上，造成轨迹形态发生扭曲。环境温度波动同样会带来影响，温度变化会让铰链结构、压电组件产生热形变，高速动态运动过程中形变随时间不断变化，实际运动路径偏离程序设定轨迹。
负载工况不匹配也会引发该故障。台面承载重量超出设备适配范围，或者负载重心严重偏离台面中心，运动时会产生额外倾覆力矩，铰链受力不均衡，动态运动过程产生形变，扫描轨迹就会发生畸变。负载没有牢固锁紧，高速往复运动出现微小滑移，也会造成轨迹偏移失真。
设备自身动态特性同样起到关键作用。压电陶瓷本身具备固有的动态响应局限，当扫描运动频率接近系统固有谐振频率，设备容易产生谐振，直接造成轨迹抖动扭曲。控制器参数和机械本体匹配不佳，增益设置不合理，高速扫描下系统响应跟不上指令变化，指令输出和实际台面运动出现滞后，拐点位置就会出现过冲或者塌陷，体现为轨迹畸变。实际使用当中需要合理控制扫描速率，匹配适配负载条件，降低外界振动与温度带来的干扰。