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纳米位移台经过多次往复循环运动之后，同一目标点位的实际停留位置出现离散偏移，重复定位结果不稳定，单次短距离定位表现尚可，经过大量来回运动之后，位置偏差逐步显现，直接影响点位对准、扫描采集的可靠性。
多次往复运动过程中，内部运动构件会产生微小摩擦损耗，接触面状态发生变化，造成回程间隙效应，正向与反向抵达同一目标点会存在位置差。压电陶瓷类驱动组件经过持续交变受力，会出现迟滞特性变化，影响位移输出精度。台体工作过程持续发热，带来局部热形变，热量累积随着循环次数增加，位置偏移也会逐步累积。
外部环境温度起伏，底座固定装配松紧度，都会对重复性表现带来影响。如果底座固定不牢靠，循环运动产生的反作用力会引发台体微小移位。可通过充分预热设备，合理设置回程策略，检查底座装配状态，减少环境温度波动，以此改善往复运动后的定位离散问题。