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纳米位移台开展连续扫描采集数据时，输出位移曲线带有大量不规则细小毛刺，平滑度不足，无法获取连续稳定的扫描轮廓，对表面轮廓扫描、光谱原位采集这类连续测量工作造成干扰。不同品牌型号纳米位移台电容传感器或应变片传感模块、信号滤波电路设计存在区别，同等外部环境下反馈噪声水平和毛刺严重程度存在明显差异。
毛刺主要来源于位置传感回路采集到的杂散噪声。传感器引线屏蔽防护不足，周边电控设备产生电磁干扰，会耦合到微弱传感信号中，形成随机噪声叠加在位置反馈数据上。传感器与台面之间的安装间隙、固定螺丝轻微松动，扫描运动产生微小振动，会造成传感信号瞬时波动。控制器内置滤波参数设置不合适，滤波截止频率过高，无法滤除高频噪声；如果截止频率过低，又会造成响应滞后。线缆老化、接头接触不良，信号传输过程产生瞬时跳变，也会在扫描曲线上体现为毛刺。地面低频振动传递到位移台基座，带动台面微小抖动，传感器实时捕捉到这类机械振动信号，直接反映在位移输出曲线。另外，驱动电压本身存在微小纹波，压电陶瓷受到电压扰动产生微量伸缩，同样会带来曲线毛刺。