新闻

纳米位移台在定点锁止保持一段时间后，会出现缓慢的位置偏移，也就是位置蠕变现象，在长时间静态采集、定点曝光这类对稳定性要求极高的场景中会带来尺寸误差。压电陶瓷驱动的纳米位移台，在施加固定驱动电压并锁定位置后，压电材料本身会产生缓慢的迟滞蠕变效应，即使驱动电压保持不变，形变依旧会随时间缓慢变化。同时台体内部柔性铰链存在微观应力释放，应力会随着静置时间逐步释放，进一步放大位置漂移量。
环境温度波动是不可忽视的外部因素，微小的温度变化会带来台体基座、柔性件的热胀冷缩，叠加在蠕变漂移之上。不同品牌型号纳米位移台的压电元件品质、铰链加工工艺、闭环反馈控制算法参数性能存在差异，蠕变的速率与漂移总量有明显区别。可采用长时间预静置、开启持续闭环实时修正等方式降低蠕变带来的定位偏差，满足高精度定点作业需求。