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纳米位移台定位至目标位置并长时间静止保持时，会出现缓慢、持续的位置偏移，位移数值随时间逐步漂移，不存在突发跳变，静置时间越长偏移量越明显，对于需要长时间曝光、定点采集的实验场景，会造成数据偏差与定位失效。
该现象为压电陶瓷固有的蠕变特性。压电陶瓷材料在施加恒定驱动电压后，晶体形变不会瞬间稳定，而是会随时间持续发生微小形变，即使驱动电压保持不变，台面位置依旧会缓慢变化。蠕变的速率和总偏移量，与压电陶瓷材料特性、驱动电压幅值、负载重量直接相关。电压越高、负载越大，蠕变带来的位置漂移就越明显。
同时，机械连接件、柔性铰链在持续受力状态下也会产生缓慢的应力释放，进一步放大位置漂移。环境温度波动会造成台面、铰链、基座等金属部件热胀冷缩，产生附加位移，和压电蠕变叠加在一起。不同品牌型号的纳米位移台，压电陶瓷材质、柔性铰链加工工艺、反馈传感器的参数性能各不相同，蠕变的速率和偏移量存在明显差异。
应对该问题，可提前执行预定位静置，等待蠕变趋于稳定后再开展正式实验；选用带闭环反馈的位移台，依靠位置传感器实时修正位置偏差；控制负载重量，减小压电陶瓷承压，同时稳定环境温度，降低热变形带来的附加位移。