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纳米位移台在连续扫描运动过程中，实际位移和设定指令输出不成线性对应关系，产生扫描轨迹非线性失真。现象为匀速扫描时，平台运动速度忽快忽慢，采集得到的扫描图形发生拉伸、压缩畸变，做大面积连续扫描时，两端位置误差大于中间区域。不同品牌驱动控制器、压电陶瓷迟滞特性参数不同，扫描速度越快，各台设备之间非线性表现差距越明显。
成因：压电材料固有的迟滞效应，电压 – 位移曲线非单一线性关系；控制器未开启迟滞补偿算法；运动行程接近平台极限位置，刚度发生变化；外部振动干扰，叠加到位移信号中。
改善方案：开启控制器内置迟滞非线性校正算法，对电压位移曲线做预标定；避免在行程极限区域进行扫描作业；降低扫描速率，减小迟滞带来的相对误差；增加外部减振基座，隔绝环境振动；选型时对比不同厂商非线性度指标，高速扫描场景优先选用内置前馈补偿的驱动系统。