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纳米位移台在单轴运动时，出现其他轴附带产生不必要位移，也就是横向串扰。现象为仅驱动 X 轴做扫描运动，Y 轴、Z 轴同步出现纳米级偏移，三维扫描采集的形貌图发生扭曲，台阶高度测量值失真；负载越重、重心偏离平台中心，串扰位移量越大，在大范围连续扫描过程中误差会持续叠加。不同品牌型号纳米位移台的柔性铰链结构、传感器布置方案性能参数不同，偏心负载工况下，各产品横向串扰指标差异十分明显。
成因：样品负载重心不在平台几何中心，位移台运动时产生附加弯矩与侧向力；柔性铰链在承受轴向驱动的同时受到侧向应力，发生非预期侧向形变；位移传感器仅监测驱动主轴，无法实时感知侧向微小位移；部分平台的闭环控制只针对驱动轴，没有多轴耦合补偿算法。
改善方案：装样时保证负载重心落在台面中心，必要时增加配重块抵消偏心；选用多轴集成闭环传感器的位移台，实时采集所有轴向位置信号；开启控制器内置的轴间耦合补偿功能，根据标定数据抵消串扰；降低负载总质量，尽量控制在平台额定负载的 30% 以内；选型阶段对比各厂商轴间串扰参数，三维形貌扫描优先选用低串扰柔性铰链结构的平台。