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重复定位精度是衡量纳米位移台品质的关键指标，加工、对位工序对数值要求严苛，不同品牌型号参数性能不同，出厂标定精度区间各有区别，现场简易检测方法如下。
将位移台移动至指定坐标点位，记录当前设备读数，回零后再次重复移动到同一坐标，连续往复十次，记录每次实际反馈位置数值。
统计多次定位后的坐标差值，该差值即为实际重复定位误差，对比设备出厂标注参数，判断是否满足现场工艺需求。
检测时保持环境温度恒定，温度起伏会带来铰链热胀冷缩，造成数据浮动，干扰真实精度判断，检测前设备提前开机预热稳定半小时。
区分开环与闭环两种模式检测，开环结构本身蠕变、迟滞误差偏大，高精度工况必须在闭环反馈开启状态下完成测试。
若多次检测误差超出标准范围，先执行设备原点校准、传感器增益重置，校准后复测依旧不达标，说明传感器或压电部件存在老化，需进行整机重新标定维护。