新闻

纳米位移台完成定位锁止之后，电压保持不变的条件下，台面位置依旧发生缓慢的微小偏移，经过一段时间之后实际坐标偏离目标点位，对于需要长时间定点曝光、静态对位观测的工况会带来明显干扰，很多时候会被误判为硬件损坏。
压电驱动材料本身存在固有的蠕变特性，驱动电压维持恒定，压电陶瓷内部电畴的重取向过程不会瞬间完成，位移会随时间发生缓慢变化，开环模式下蠕变偏移现象表现尤为突出。即便开启闭环反馈，传感器采样速率、控制器积分参数设置不当，也无法完全抵消长时间蠕变带来的位置变化。不同品牌型号参数性能不同，压电陶瓷材质配方、闭环传感器类型、补偿算法实现存在区别，蠕变偏移的幅度、变化速率差异较大。
环境温度波动是另一大主要诱因，环境温度发生变化，台体基座、柔性铰链、陶瓷促动器热膨胀系数不一样，各部件产生不同程度微形变，累积之后转化为位置漂移。设备连续长时间作业，压电促动器持续工作产生热量，台体自身升温，也会带来内部温度梯度，加剧静态位置偏移。
装配残留应力也会带来缓慢偏移，样品夹具锁紧扭力过大，台面被施加额外的机械应力，应力会随时间缓慢释放，带动台面发生微小位移。线缆拉扯、接头受力，也会持续给台面施加外力，造成定点状态下坐标缓慢游走。