新闻

纳米位移台在高速连续扫描工况下，输出轨迹出现不规则小幅共振抖动，实际运动轨迹偏离理论设定路径，扫描采集得到的数据曲线附带周期性波纹，直接影响微纳尺度定位与扫描检测结果，低速运行时抖动现象会明显减弱。不同型号纳米位移台的机械刚性、压电陶瓷响应特性、控制器滤波参数各不相同，发生共振的临界速度区间存在较大区别。
共振抖动首要来源于运动激励与系统固有频率发生耦合，每一台位移台机械组件拥有固定固有频率，当扫描运动速度、往复切换频率接近该频率区间，就会激发机械共振。压电陶瓷驱动环节，驱动信号上升沿斜率设置过大，阶跃输出冲击载荷，会激发台体机械振动。负载条件也会带来显著影响，负载质量超出设备适配范围，或者负载重心偏移，没有处于台面中心位置，会改变整机固有频率，更容易触发共振现象。控制器内置滤波参数匹配不当，滤波截止频率设置不合理，无法抑制谐振峰，振动信号不能有效衰减。外部安装基座刚性不足，基座自身受振动激励发生微小形变，会传递至位移台台面，放大抖动幅值。环境层面地面振动、周边设备运行带来的扰动，也会和台体振动相互叠加，加重扫描轨迹的波纹畸变。