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纳米位移台执行多点定位、往复扫描任务时，相同目标坐标下多次定位得到的实际位置不一致，测量数据离散度增大，重复定位精度达不到设备标称指标，降低微纳检测、原位加工实验的数据可靠性。不同品牌型号纳米位移台柔性铰链结构、压电驱动组件性能、闭环传感器采样精度存在差异，在同等偏心负载工况下，定位重复性劣化的幅度各不相同。
负载重心偏离台面中心是核心诱因，装配样品、夹具后整体重心偏移，位移台运动过程会产生额外倾覆力矩，使得柔性铰链承受不对称应力。在正向与反向运动行程切换时，应力释放状态不一致，每次到达目标点位的形变存在差异，造成定位结果离散。负载总重量超出位移台适配承载上限，会进一步放大该效应。台面锁紧固定不到位、夹具安装存在微小间隙，运动过程负载发生微量晃动，叠加倾覆力矩，持续干扰位置反馈信号。环境振动扰动会和偏心负载带来的力学形变耦合，加大位置波动。控制器闭环反馈参数没有根据实际负载重新整定，原有控制算法无法补偿偏心带来的形变误差，也会造成定位重复性能下降。温度变化带来的热形变，会随偏心负载产生非对称位移，进一步扩大定位偏差。