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纳米位移台在高速连续扫描作业时，扫描轨迹上容易出现规律性抖动、波形毛刺，采集到的测试曲线存在明显噪声，即使重复同一套运动参数，每次采集的数据波动较大，无法实现稳定的纳米级定位，大幅降低微纳检测与光刻定位的精度。
共振抖动主要来自位移台机械结构与外部支撑系统的共振耦合。纳米位移台依靠压电陶瓷驱动实现纳米尺度运动，压电陶瓷响应速度快，当扫描运动的驱动频率接近位移台本体、载物样品、夹具以及支撑平台的固有频率时，就会激发机械共振，产生振动干扰。振动会直接带动样品发生微小晃动，使得位移反馈传感器采集的位置信号产生波动，体现在运动轨迹与成像数据上。
负载状态会显著改变共振特性，样品重量过大、样品重心偏离台面中心，都会改变整体系统固有频率，让共振区间向更低速度偏移。夹具刚性不足、螺丝未充分锁紧，会引入额外的柔性连接，放大振动幅度。除此之外，外界环境的地面振动、空气流动、温度变化带来的结构微变形，也会叠加到系统振动中，加剧抖动现象。
可通过调整扫描速率避开系统固有共振频段，优化样品装夹方案，选用高刚性夹具，降低负载偏心；也可调整控制器的伺服增益参数，增加系统阻尼，抑制共振峰值，减少运动过程中的振动干扰，保障扫描轨迹平滑稳定。