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纳米位移台依托压电陶瓷逆压电效应实现纳米级行程驱动，在开环扫描或者未充分标定的闭环工况下，位移输出与驱动电压之间呈现非单值的迟滞特性，是影响精密定位、连续扫描形貌采集的基础物理现象，在长行程、高频往复扫描场景中表现尤为突出。直观来看，给纳米位移台施加匀速上升再匀速下降的三角驱动电压，同一点电压对应的实际位置并不重合，正向运动和反向运动的位移曲线相互分离，形成闭合的迟滞回线，回线宽度会随着驱动电压幅值、扫描行程的增加同步变大。压电陶瓷内部电畴在外电场作用下发生转向与重新排布，电畴翻转存在能量壁垒，电场上升与下降过程里电畴的响应路径不一致，造成电压和位移之间无法保持一一对应的线性映射关系。不同品牌、型号纳米位移台选用的压电陶瓷材料配方、叠层烧结工艺、预紧结构都存在区别，迟滞回线的宽度、曲率特征差异明显，部分长行程压电台迟滞占比可以达到行程的百分之十几，短行程高刚性台的迟滞占比相对更低。迟滞效应会直接带来扫描轨迹的位置偏差，在扫描探针成像、光刻逐点曝光、纳米尺寸测量这类对位置时序精度有要求的工艺中，正向和反向扫描采集的数据无法对齐，图形出现拉伸、错位，直接破坏形貌和版图的空间对应关系，迟滞本身属于压电材料固有属性，只能够依靠闭环反馈或者驱动算法做补偿，无法消除。