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纳米位移台依靠内置位移传感器实时反馈位置信号，配合控制器形成闭环控制，以此抑制压电迟滞、蠕变带来的静态误差，但传感器本身存在固定的检测带宽上限。当平台执行高速连续扫描、高频往复运动时，位移变化速率超过传感器的响应带宽，传感器输出信号无法同步跟随真实位置的瞬时变化，检测信号会出现相位滞后与幅值衰减，控制器基于滞后的反馈信号输出驱动电压，进一步放大位置偏差。不同型号纳米位移台选用的电容传感器、应变片传感器、干涉传感模块参数性能各不相同，带宽指标差距较大，高带宽传感方案噪声水平通常更高，低带宽传感方案静态稳定性更好但动态响应偏弱。该滞后现象仅在动态运动过程中显现，点位静止时闭环定位依旧可以达到很高精度，容易被忽略；在高速面扫描、原子力成像、快速图形直写等场景下，会造成扫描轨迹的边缘变形、轮廓拖尾，制约平台高速工况下的定位能力。