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纳米位移台在多轴同步运动工况下，各运动轴并非完全独立，驱动单元产生的作用力会通过内部弹性框架、连接结构互相传递，形成动力学耦合效应。当其中一个轴做高速扫描或者阶跃运动时，产生的惯性力、压电驱动力会传递至其余静止或者低速运动的轴，引发非驱动方向上的微小位移与振动，这种耦合扰动不依靠外部负载引入，属于平台本体结构带来的固有特性。不同型号纳米位移台的弹性铰链布局、整体刚度分配、压电陶瓷排布参数性能各不相同，耦合程度差异明显，紧凑型三轴一体化结构的耦合效应通常会比分体式单轴组合平台更加显著。耦合带来的偏移量往往处在纳米至数十纳米量级，在普通低速定位场景中不容易被察觉，但在长时间连续扫描、多轴同步轨迹描绘、逐点套刻定位等高精度场景下，耦合误差会持续累积，造成扫描轨迹偏移、点位坐标偏离设计值，直接降低定位精度与轨迹保真度，即便闭环传感器只采集本轴位置信号，也无法直接感知正交方向上由耦合带来的位置偏差。