纳米位移台依靠内置位移传感器实时反馈位置信号，配合控制器形成闭环控制，以此抑制压电迟滞、蠕变带来的静态误差，但传感器本身存在固定的检测带宽上限。当平台执行高速连续扫描、高频往复运动时，位移变化速率超过传感器的响应带宽，传感器输出信号无法同步跟随真实位置的瞬时变化，检测信号会出现相位滞后与幅值衰减...

纳米位移台在多轴同步运动工况下，各运动轴并非完全独立，驱动单元产生的作用力会通过内部弹性框架、连接结构互相传递，形成动力学耦合效应。当其中一个轴做高速扫描或者阶跃运动时，产生的惯性力、压电驱动力会传递至其余静止或者低速运动的轴，引发非驱动方向上的微小位移与振动，这种耦合扰动不依靠外部负载引入，属...