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纳米位移台普遍采用闭环反馈控制方案，依靠内置位移传感器实时采集位置信息，反馈给控制器形成位置调节，以此抑制非线性误差。传感系统具备固定的信号带宽，当位移台执行高速、快速阶跃或者高频往复扫描动作时，位置变化速率超出传感带宽的响应上限，传感器输出信号无法同步跟随真实位置变化，反馈信号出现滞后。
位置反馈滞后会让控制器的调节动作跟不上实际运动状态，无法及时修正位置偏差，形成动态跟踪误差。运动频率越低，传感响应余量充足，跟踪偏差维持在很小的水平；随着扫描频率提升，滞后效应持续加剧，误差会持续增大。不同品牌型号的纳米位移台，传感器类型、采样频率以及闭环控制算法参数性能不一样，带宽指标存在差距，面对相同的扫描波形时，跟踪偏差的表现也各不相同。该效应是高速纳米扫描场景中重要的误差来源，会直接影响扫描采集数据的连续性和位置对应准确性。