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纳米位移台依靠内置的位置传感器实时反馈位移信息，以此搭建闭环控制回路，而传感器本身具备有限的采集带宽与固有噪声基底。当平台执行快速阶跃或者高速连续扫描动作时，如果运动变化速率超出传感器的有效响应带宽，反馈信号就无法同步捕捉瞬时位移，闭环控制器获取到的位置信息存在延迟，进而造成跟踪误差持续累积。传感信号当中还混杂着电路热噪声、电源耦合干扰，这类小幅随机噪声会让反馈读数在真实位置附近持续跳动，在要求超高定位稳定性的工况下，会表现为点位无法长时间稳定锁定。各类位移传感方案，包含电容传感、应变片传感、激光干涉传感，本身在噪声水平、带宽、温漂系数上各有取舍，也是不同型号纳米位移台定位稳定能力拉开差距的关键来源。