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多轴纳米位移台在执行联动扫描的时候，各个运动轴之间存在难以完全消除的运动耦合，当其中一个轴产生位移，会在其余轴向上诱发附带的微小偏移，干扰预设的运动轨迹。耦合效应主要来源于弹性导向结构本身的形变交叉传递、压电驱动组件的侧向应力，以及装配过程带来的微小同轴偏差。当平台沿着单一轴做高速阶跃运动，产生的惯性力会通过框架传递到另外的自由度，造成横向扰动；如果是大行程扫描，导向构件形变幅度增加，轴间耦合的影响会变得更加突出。耦合误差并不是恒定数值，它和当前位置、运动速度、负载分布紧密相关，负载重心偏离平台中心时，侧向力矩进一步加剧耦合扰动。即便每一个独立轴都经过单独标定，在多轴同步运行时，交叉干扰依然会让实际轨迹偏离理论路径，降低定位的重复性。想要获得稳定的联动效果，除了依靠结构优化降低耦合本征水平，还需要借助闭环传感信号与控制算法，对交叉扰动进行实时感知与抑制。